X'inhuma s-6 Passi Ewlenin fil-Manifattura taċ-Ċipep?

Fl-2020, ġew prodotti aktar minn triljun ċipep madwar id-dinja, li huwa ekwivalenti għal 130 ċipep li huma proprjetà u użati minn kull persuna fuq il-pjaneta.Madankollu anke hekk, in-nuqqas reċenti taċ-ċippa jkompli juri li dan in-numru għadu ma laħaqx il-limitu massimu tiegħu.

Għalkemm iċ-ċipep diġà jistgħu jiġu prodotti fuq skala daqshekk kbira, il-produzzjoni tagħhom mhix biċċa xogħol faċli.Il-proċess tal-manifattura taċ-ċipep huwa kumpless, u llum se nkopru s-sitt passi l-aktar kritiċi: depożizzjoni, kisi fotoreżistiku, litografija, inċiżjoni, impjantazzjoni tal-jone u ippakkjar.

Deposizzjoni

Il-pass tad-depożizzjoni jibda bil-wejfer, li jinqata 'minn ċilindru tas-silikon pur ta' 99.99% (imsejjaħ ukoll "ingott tas-silikon") u illustrat għal finitura estremament bla xkiel, u mbagħad jiġi depożitat film irqiq ta 'materjal konduttur, iżolatur jew semikonduttur. fuq il-wejfer, skont ir-rekwiżiti strutturali, sabiex l-ewwel saff ikun jista 'jiġi stampat fuqha.Dan il-pass importanti ħafna drabi jissejjaħ "depożizzjoni".

Hekk kif iċ-ċipep isiru dejjem iżgħar, il-mudelli tal-istampar fuq il-wejfers isiru aktar kumplessi.Avvanzi fid-depożizzjoni, l-inċiżjoni u l-litografija huma essenzjali biex iċ-ċipep isiru dejjem iżgħar u b'hekk imexxu t-tkomplija tal-Liġi ta 'Moore.Dan jinkludi tekniki innovattivi li jużaw materjali ġodda biex jagħmlu l-proċess ta 'depożizzjoni aktar preċiż.

Kisi Fotoreżistiku

Il-wejfers imbagħad jiġu miksija b'materjal fotosensittiv imsejjaħ "fotoreżist" (imsejjaħ ukoll "fotoreżist").Hemm żewġ tipi ta 'photoresists - "photoresists pożittivi" u "photoresists negattivi".

Id-differenza ewlenija bejn photoresists pożittivi u negattivi hija l-istruttura kimika tal-materjal u l-mod kif il-photoresist jirreaġixxi għad-dawl.Fil-każ ta 'photoresists pożittivi, iż-żona esposta għad-dawl UV tibdel l-istruttura u ssir aktar solubbli, u b'hekk tippreparaha għall-inċiżjoni u d-depożizzjoni.Fotoreżisti negattivi, min-naħa l-oħra, polimerizzaw fiż-żoni esposti għad-dawl, li jagħmilha aktar diffiċli biex jinħall.Photoresists pożittivi huma l-aktar użati fil-manifattura tas-semikondutturi minħabba li jistgħu jiksbu riżoluzzjoni ogħla, u jagħmluhom għażla aħjar għall-istadju tal-litografija.Issa hemm numru ta 'kumpaniji madwar id-dinja li jipproduċu photoresists għall-manifattura tas-semikondutturi.

Fotolitografija

Il-fotolitografija hija kruċjali fil-proċess tal-manifattura taċ-ċippa għaliex tiddetermina kemm jistgħu jkunu żgħar it-transistors fuq iċ-ċippa.F'dan l-istadju, il-wejfers jitpoġġew f'magna fotolitografika u jiġu esposti għal dawl ultravjola profond.Ħafna drabi huma eluf ta’ darbiet iżgħar minn ħabba ramel.

Id-dawl huwa proġettat fuq il-wejfer permezz ta '"pjanċa tal-maskra" u l-ottika tal-litografija (il-lenti tas-sistema DUV) tiċkien u tiffoka l-mudell taċ-ċirkwit iddisinjat fuq il-pjanċa tal-maskra fuq il-fotoreżistu fuq il-wejfer.Kif deskritt qabel, meta d-dawl jolqot il-fotoreżistenti, isseħħ bidla kimika li tistampa l-mudell fuq il-pjanċa tal-maskra fuq il-kisja tal-fotoreżistenti.

Li tikseb il-mudell espost eżattament id-dritt huwa kompitu delikat, b'interferenza tal-partikuli, rifrazzjoni u difetti fiżiċi jew kimiċi oħra kollha possibbli fil-proċess.Huwa għalhekk li xi drabi għandna bżonn ottimizzaw il-mudell ta 'espożizzjoni finali billi nikkoreġu speċifikament il-mudell fuq il-maskra biex il-mudell stampat jidher kif irridu.Is-sistema tagħna tuża "litografija komputazzjonali" biex tgħaqqad mudelli algoritmiċi ma 'data mill-magna tal-litografija u wejfers tat-test biex tipproduċi disinn ta' maskra li huwa kompletament differenti mill-mudell ta 'espożizzjoni finali, iżda dan huwa dak li rridu niksbu għax dak huwa l-uniku mod biex niksbu l- mudell ta' espożizzjoni mixtieq.

Inċiżjoni

Il-pass li jmiss huwa li tneħħi l-photoresist degradat biex tikxef il-mudell mixtieq.Matul il-proċess ta '"inċiżjoni", il-wejfer huwa moħmi u żviluppat, u xi wħud mill-photoresist jinħaslu biex jiżvelaw mudell 3D ta' kanal miftuħ.Il-proċess ta 'inċiżjoni għandu jifforma karatteristiċi konduttivi b'mod preċiż u konsistenti mingħajr ma jikkomprometti l-integrità ġenerali u l-istabbiltà tal-istruttura taċ-ċippa.Tekniki avvanzati ta 'inċiżjoni jippermettu lill-manifatturi taċ-ċippa jużaw mudelli doppji, kwadruples u bbażati fuq l-ispazjar biex joħolqu d-dimensjonijiet ċkejkna ta' disinji moderni ta 'ċippa.

Bħal fotoreżisti, l-inċiżjoni hija maqsuma f'tipi "niexfa" u "imxarrab".L-inċiżjoni niexfa tuża gass biex tiddefinixxi l-mudell espost fuq il-wejfer.L-inċiżjoni mxarrba tuża metodi kimiċi biex tnaddaf il-wejfer.

Ċippa għandha għexieren ta 'saffi, għalhekk l-inċiżjoni għandha tkun ikkontrollata bir-reqqa biex tevita li ssir ħsara lis-saffi sottostanti ta' struttura ta 'ċippa b'ħafna saffi.Jekk l-iskop tal-inċiżjoni huwa li toħloq kavità fl-istruttura, huwa meħtieġ li jiġi żgurat li l-fond tal-kavità huwa eżattament id-dritt.Xi disinji taċ-ċippa b'sa 175 saff, bħal 3D NAND, jagħmlu l-pass tal-inċiżjoni partikolarment importanti u diffiċli.

Injezzjoni tal-jone

Ladarba l-mudell ikun inċiż fuq il-wejfer, il-wejfer jiġi bbumbardjat b'jonji pożittivi jew negattivi biex jaġġustaw il-proprjetajiet konduttivi ta 'parti mill-mudell.Bħala materjal għall-wejfers, is-silikon tal-materja prima mhuwiex iżolatur perfett u lanqas konduttur perfett.Il-proprjetajiet konduttivi tas-silikon jaqgħu x'imkien bejniethom.

Id-direzzjoni tal-joni ċċarġjati fil-kristall tas-silikon sabiex il-fluss tal-elettriku jkun jista 'jiġi kkontrollat ​​biex jinħolqu swiċċijiet elettroniċi li huma l-blokki bażiċi tal-bini taċ-ċippa, it-transistors, tissejjaħ "jonizzazzjoni", magħrufa wkoll bħala "impjantazzjoni tal-jone".Wara li s-saff ikun ġie jonizzat, jitneħħa l-fotoresist li jifdal użat biex jipproteġi ż-żona mhux inċiża.

Ippakkjar

Eluf ta 'passi huma meħtieġa biex tinħoloq ċippa fuq wejfer, u tieħu aktar minn tliet xhur biex tmur mid-disinn għall-produzzjoni.Biex tneħħi ċ-ċippa mill-wejfer, hija maqtugħa f'ċipep individwali bl-użu ta 'serrieq tad-djamanti.Dawn iċ-ċipep, imsejħa "bare die", huma maqsuma minn wejfer ta '12-il pulzier, l-aktar daqs komuni użat fil-manifattura tas-semikondutturi, u minħabba li d-daqs taċ-ċipep ivarja, xi wejfers jista' jkun fihom eluf ta 'ċipep, filwaqt li oħrajn fihom biss ftit. tużżana.

Dawn il-wejfers vojta mbagħad jitqiegħdu fuq "sottostrat" ​​- sottostrat li juża fojl tal-metall biex jidderieġi s-sinjali ta 'input u output mill-wejfer vojt għall-bqija tas-sistema.Imbagħad jiġi mgħotti b'"heat sink", kontenitur protettiv żgħir u ċatt tal-metall li fih likwidu li jkessaħ biex jiżgura li ċ-ċippa tibqa' friska waqt it-tħaddim.

sħiħ-awtomatiku1

Profil tal-Kumpanija

Zhejiang NeoDen Technology Co., Ltd. ilha timmanifattura u tesporta diversi magni żgħar pick and place mill-2010. Nieħdu vantaġġ mir-R&D b'esperjenza rikka tagħna stess, produzzjoni mħarrġa sew, NeoDen jirbaħ reputazzjoni kbira mill-klijenti mad-dinja kollha.

bi preżenza globali f'aktar minn 130 pajjiż, il-prestazzjoni eċċellenti, preċiżjoni għolja u affidabilità ta 'NeoDenMagni PNPtagħmilhom perfetti għal R&D, prototipi professjonali u produzzjoni ta 'lott żgħir għal medju.Aħna nipprovdu soluzzjoni professjonali ta 'one stop tagħmir SMT.

Żid: No.18, Tianzihu Avenue, Tianzihu Town, Anji County, Huzhou City, Provinċja ta 'Zhejiang, iċ-Ċina

Telefon: 86-571-26266266


Ħin tal-post: Apr-24-2022

Ibgħatilna l-messaġġ tiegħek: